干式真空泵主要有以下幾種形式：
雙圓片
雙盤設(shè)計(jì)與當(dāng)今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些最早的干泵設(shè)計(jì)是羅茨泵的堆疊。這種多級設(shè)計(jì)使得氣路非常復(fù)雜，并且需要在每個階段有更大的氮?dú)饬髁縼磉M(jìn)行稀釋和隔離。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對各級的通關(guān)要求也是非常嚴(yán)格的。當(dāng)然，由于內(nèi)部壓縮比的增加，這種設(shè)計(jì)使其功耗相對較低。
三葉草裂片
苜蓿葉形分割設(shè)計(jì)與雙分割設(shè)計(jì)相同，只是氣體在一次旋轉(zhuǎn)中被分成三部分而不是兩部分。兩種設(shè)計(jì)都有相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低功耗，一些廠商在選擇兩個直流電機(jī)的傳動部分，但這也會導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩減小，重新啟動 - 下降的能力。與雙盤設(shè)計(jì)一樣，三葉草設(shè)計(jì)的每個階段都需要較大的氮?dú)饬髁縼磉M(jìn)行稀釋和隔離。
組合（根+爪）
組合（根部+爪部）與根部一起設(shè)計(jì)，以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節(jié)所述完全相同。一些廠家將最后的水平設(shè)計(jì)成明星，這樣的氣體可以分為五個革命，就像三個圓形的分割設(shè)計(jì)可以分成三個。同樣，在許多過程中，組合設(shè)計(jì)的每個階段需要更大量的氮?dú)饬髯鳛橄♂尯透綦x。
外部壓縮式螺絲
在外部壓縮式螺絲設(shè)計(jì)中，使用一對等距的螺絲。這使內(nèi)部壓縮最小化，同時(shí)保持氣路最短和最簡單。這樣，氣體可以在最短的時(shí)間內(nèi)停留在泵體內(nèi)。盡管這種設(shè)計(jì)由于其內(nèi)部壓縮比降低而導(dǎo)致功耗相對較高，但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計(jì)使得氮?dú)庑枨蠓浅Ｐ∏液唵危@使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過程中，您甚至可以消除氮?dú)狻?br /> 內(nèi)部壓縮式螺絲
除了使用一對非等距的螺絲外，內(nèi)壓螺絲設(shè)計(jì)和外壓螺絲設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。 由于內(nèi)部壓縮，該設(shè)計(jì)將功耗降至與多級泵相當(dāng)?shù)乃健?然而，在許多工藝中，這種內(nèi)部壓縮，就像多級泵一樣，很容易造成氣體在泵體中發(fā)生物理和化學(xué)變化而凝固或液化。