干式螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的一種真空抽氣設(shè)備。干式螺桿真空泵工作原理是：利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸左螺桿與右螺桿做高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用，最終形成真空。

一、干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)

    干式螺桿真空泵在工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)相對(duì)平穩(wěn)，噪音比較低，工作腔不需潤滑油，因此，干式螺桿真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空度更高，消耗功率比較低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的升級(jí)版產(chǎn)品。

二、干式螺桿真空泵工作原理

    干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對(duì)氣體有壓縮的作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。

干式螺桿真空泵的工作原理圖

三、干式螺桿真空泵結(jié)構(gòu)原理

干式螺桿真空泵是立式結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機(jī)和潤滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接，該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。

干式螺桿真空泵選用適當(dāng)?shù)妮^簡單螺桿牙型截面，那么它的優(yōu)勢(shì)是則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。根據(jù)其工作原理，我們可以可以明確地認(rèn)識(shí)到，干式螺桿真空泵是一種極限真空度高、消耗功率比較低、節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。